Spectroscopie des rayons X

La spectroscopie des rayons X rassemble plusieurs techniques de caractérisation spectroscopique de matériaux par excitation par rayons X. Trois familles de techniques sont le plus souvent utilisées.

Spectroscopie électromagnétique

Selon les phénomènes mis en jeu, on distingue trois classes :

MécanismeNom en françaisNom en anglaisExcitationExemplesDétection
Spectrométrie d'absorptionSpectrométrie d'absorption des rayons X (SAX)X-ray absorption spectroscopy (XAS)Rayons XXANES, EXAFSRayons X non absorbés
Spectroscopie d'émissionSpectroscopie d'émission de rayons X (de)X-ray emission spectroscopy (XES)Radiations d'électronsRayons X émis
Spectroscopie d'émission de rayons X induite par des particules chargéesParticle induced X-ray emission (PIXE)Radiations de particules chargés (ions)Rayons X émis
Spectroscopie de fluorescenceSpectrométrie de fluorescence des rayons X (SFX)X-ray fluorescence spectroscopy (XRF)Rayons XFluorescence de rayons X

L'analyse se fait par l'une des deux méthodes suivantes :

Spectroscopie photoélectronique

La spectroscopie photoélectronique utilisant les rayons X comme source d’excitation est la spectrométrie photoélectronique X ou spectroscopie des rayons X de photoélectrons (X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) en anglais) aussi connue sous le nom de spectroscopie d'électrons pour l'analyse chimique (ESCA).

Spectroscopie électronique Auger

La spectroscopie électronique Auger (en) (AES) utilisant les rayons X comme source d’excitation est la spectroscopie électronique Auger induite par rayons X (X-ray induced Auger electron spectroscopy (XAES) en anglais).

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