Hexafluorure de tungstène


L'hexafluorure de tungstène est un composé chimique inorganique de formule brute WF6. Cet hexafluorure est un gaz incolore aux conditions normales de température et de pression, c'est-à-dire sous une pression de 1 atm et à température ambiante. Avec une densité d'environ 10,3 (par rapport à l'air), c'est même aux conditions normales, un des gaz les plus lourds connus.

Hexafluorure de tungstène
   
Structure de l'hexafluorure de tungstène
Identification
Nom UICPA Hexafluorure de tungstène
No CAS 7783-82-6
No ECHA 100.029.117
No CE 232-029-1
Apparence Gaz incolore
liquide jaune pâle sous 17 °C
Cristaux blancs sous 2 °C
Propriétés chimiques
Formule F6W
Masse molaire[1] 297,83 ± 0,01 g/mol
F 38,27 %, W 61,73 %,
Propriétés physiques
T° fusion 2,3 °C[2]
T° ébullition 17,1 °C[2]
Solubilité se décompose dans l'eau[2]
Masse volumique 3,430 kg·l-1 (liquide, 17,1 °C)[2]
Pression de vapeur saturante 1,132 bar à 20 °C
1,6 bar à 30 °C[2]
Précautions
Directive 67/548/EEC

T+

C
Transport[2]
268
   2196   
Écotoxicologie
CL50 1350mg/m3 (souris, inhalation)[3]
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Le WF6 est utilisés le plus souvent pour la production de certains circuits électroniques et plus précisément au cours de procédés de dépôts chimiques en phase vapeur dans le but de produire une couche de tungstène métallique ou de siliciure de tungstène. Cette couche à faible résistivité permet ensuite les interconnexions.

Notes et références
  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. Entrée du numéro CAS « 7783-82-6 » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais), accès le 30/11/2008 (JavaScript nécessaire)
  3. "Spravochnik po Toksikologii i Gigienicheskim Normativam Vol. -, Pg. 43, 1999.
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